・マイクロ・ナノ加工技術の最近の動向と展望 ・マイクロメートルからナノメートルへ/単位のお話 ●マイクロ・ナノ加工への挑戦 ・ナノ精密加工=デスクトップ加工システムで取組む ・超微細溝加工=超精密マイクロ切削技術で実現 ・マイクロ研削=高硬度材料や脆性材料への加工も可能 ・ナノ金型加工=機械加工技術でのナノレベル金型製作 ●立ち上がったマイクロロボット ・[インタビュー]昆虫に学ぶマイクロマシンの現状と期待 ・小さい部品はそれに見合った小さな機械でつくる「実用段階に入りつつあるマイクロファクトリ」 ・微小圧痕の連続加工で4μm幅の超狭小溝を形成「マイクロロボットによる微細加工」 ・第15回マイクロメカニズムイベント「小さな3ロボットのコンテストレポート」 ●マイクロ・ナノ加工の実際 ・NC自動旋盤による微細加工/機械その他の要素の高精度・高速性が必要 ・超精密ナノ加工機による微細加工/FANUC“ROBONANOa-01A” ・超精密加工機によるナノ加工/リニアモータ駆動静圧油テーブル、空気軸受け回転主軸搭載 ・超音波による微細加工への取組み ・銅蒸気・エキシマレーザによる微細加工/加工部周辺への熱による影響の抑制・軽減が必要 ・リニアモータ駆動放電加工機による微細加工 ●マイクロ加工を支える切削工具 ・極小径加工用旋削バイト ・極々小径エンドミル ・極小径ドリル ◎マイクロ・ナノ加工の現場レポート ・省力化より人力をかけたモノづくりめざす『開明製作所』 ・産学連携で硬脆材料のマイクロ・微細加工に挑む-『クマクラ』 ・導光板のプリズムパターン加工で形状精度nmオーダーをクリア『サカリ』 ・機械加工とレーザ加工の融合でモノづくりの第3世代へ『篠崎製作所』